伏尔肯生产的晶舟等产品已经批量应用于半导体高温热处理设备（氧化、扩散、MOCVD），陶瓷部件在半导体装备应用中对物料纯度、尺寸精度、机械性能、热性能、电性能等方面具有较高要求。